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Glossary 用語集(ELID鏡面研削法)

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ELID鏡面研削法

  • 電解インプロセスドレッシング鏡面研削法：シリコンウエハなどを鏡面加工する技術。ELID[ELectrolytic In-process Dressing]加工が困難なセラミックス、ガラス、フェライト、高硬度鋼材、複合材料に対して鏡面加工ができる技術。理化学研究所素形材光学研究室が開発。ドレッシング：目立て

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