開発環境

Glossary 用語集(反射電子)

反射電子

  • ハンシャデンシ 【reflected　electron,　backwscattered electron 】入射電子が試料内で散乱 する過程で、試料表面から再放出されたもの。入射電子以下50eV以上のエネルギーを持つ電子のうち、オージェ電子を除いたもの。

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