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オージェ電子分光法

  • オージェ電子分光法は、電子線照射により放出されるオージェ電子の運動エネルギー分布を測定し、試料表面（数nm程度の深さ）に存在する元素の種類・存在量に関する知見を得る手法である。AESともいう。

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