開発環境

Glossary 用語集(XPS)

XPS

  • 【X-ray photoelectron spectroscopy】X線光電子分光法。単一エネルギーのX線を照射し、発生する光電子のエネルギースペクトルを測定する方法。極表面の元素分析ができる。またピークシフトより元素の化学状態についての情報も得られる（金属か酸化物かなど）。ESCA（エスカ）とも呼ばれる。

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