Glossary 用語集(EDS)
EDS
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エネルギー分散型X線分光器を使ったX線分光法。同時に広い元素範囲の同時分析ができるが、エネルギー分解能、検出限界などではWDSの方が有利である。SEM、TEMでの元素分析はほとんどがこの方法による。また、RoHS用やハンディの蛍光X線で使われているのもこの方法である。＝EDX。
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エネルギー分散型X線分光器を使ったX線分光法。同時に広い元素範囲の同時分析ができるが、エネルギー分解能、検出限界などではWDSの方が有利である。SEM、TEMでの元素分析はほとんどがこの方法による。また、RoHS用やハンディの蛍光X線で使われているのもこの方法である。＝EDX。
