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走査型電子顕微鏡

  • 電子顕微鏡の一種。細く絞った電子ビームを二次元的に固体表面に照射し、各点からの信号（二次電子、反射電子、透過電子、X線、カソードルミネッセンス、内部起電力）を情報として取り出し、走査に同期した表示装置上に画像として再生する顕微鏡。=SEM。

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