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Glossary 用語集(集束イオンビーム)

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集束イオンビーム

  • 電界で加速したイオンビームを細く絞ったもの。試料にビームを当てることにより、微細加工、蒸着、観察に用いる装置のこともいう。試料の微細箇所を狙って加工ができるため、SEM、TEMの前処理として用いられることも多い。=FIB。

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