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Glossary 用語集(原子間力顕微鏡)

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原子間力顕微鏡

  • 走査型プローブ顕微鏡（SPM）の一種。探針と試料の原子間にはたらく力を検出して画像を得る顕微鏡。表面の微細形状を観察する方法の一つである。＝AFM。

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