8インチXY電動ステージ制御 両面顕微鏡計測システム

ウエハー表裏面のアライメントマークの自動検査システム

◆指定したワークの測定箇所に自動で移動し、水晶振動子、ＭＥＭＳ、半導体ウェハ、電子部品の表裏パターンやアライメントマークのずれを自動測定できます。 ◆ＸＹステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能、測定対象を映像中心位置に移動制御するセンタリング機能を搭載。正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。

製品名: 8インチXY電動ステージ制御　両面顕微鏡計測システム

型番: TOMOS-80XY

価格: お問合せ下さい

発売日: 2024年11月

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8インチXY電動ステージ制御　両面顕微鏡計測システムの特長

ＤＳ，ＤＳ3シリーズ　　　　仕　　　　様　　　

入　　　　　　力	1φ又は3φ 48～62Hz 100V､200V､440V	効　　　　　率	約70％以上
入力電圧範囲	定格電圧±10％	負　荷　条　件	0～100％(電流)
出力電源精度	定格電圧± 1％	絶　縁　抵　抗	DC500Ｖﾒｶ測定10MΩ
電圧可変範囲	20～120％	絶　縁　耐　力	AC1500Ｖ　１分間
ﾘｯﾌﾟﾙ電圧	2％（rms)	使　用　温　度	-10～40℃
応　答　時　間	0.3秒以内(50％以上負荷時)	相　対　湿　度	30～85％RH
過負荷保護	定格電流の約105％にて垂下	塗　　装　　色	ﾏﾝｾﾙ5Y7/1
出力過電圧保護	定格電圧の約130％にて(入力ﾌﾞﾚｰｶﾄﾘｯﾌﾟ)

ＤＳ，ＤＳ3シリーズ　　

ＤＳシリーズ　　　　　単相入力製品一覧

定格電圧	定格電流	最大容量	型　　　　　　　　式		幅Ｗ	奥行D	高さH	重量	外形図
（可変範囲）	（Ａ）	（W）	1φ入力AC100V	1φ入力AC200V	(mm)	(mm)	(mm)	(kg)	番号
12V (2～15V)	25	375	DＳ- 　25-　1Ｚ1	DＳ- 　25-　1Ｚ2	420	400	199	35	図-2
	38	570	DＳ- 　38-　1Ｚ1	DＳ- 　38-　1Ｚ2	420	500	249	40	図-2
	50	750	DＳ- 　50-　1Ｚ1	DＳ- 　50-　1Ｚ2	420	500	349	55	図-2
	75	1.1k	DＳ- 　75-　1Ｚ1	DＳ- 　75-　1Ｚ2	350	450	670	90	図-3
	100	1.5k	DＳ- 100-　1Ｚ1	DＳ- 100-　1Ｚ2	400	550	770	110	図-3
	150	2.2k	DＳ- 150-　1Ｚ1	DＳ- 150-　1Ｚ2	400	550	770	130	図-3
	200	3.0k	DＳ- 200-　1Ｚ1	DＳ- 200-　1Ｚ2	400	550	770	140	図-3
25V (5～30V)	10	375	DＳ- 　10-　3Ｚ1	DＳ- 　10-　3Ｚ2	420	400	199	25	図-2
	15	450	DＳ- 　15-　3Ｚ1	DＳ- 　15-　3Ｚ2	420	400	199	35	図-2
	25	750	DＳ- 　25-　3Ｚ1	DＳ- 　25-　3Ｚ2	420	500	249	38	図-2
	38	1.1k	DＳ- 　38-　3Ｚ1	DＳ- 　38-　3Ｚ2	420	500	349	63	図-2
	50	1.5k	DＳ- 　50-　3Ｚ1	DＳ- 　50-　3Ｚ2	350	450	670	80	図-3
	75	2.2k	DＳ- 　75-　3Ｚ1	DＳ- 　75-　3Ｚ2	400	550	770	120	図-3
	100	3.0k	DＳ- 100-　3Ｚ1	DＳ- 100-　3Ｚ2	400	550	770	130	図-3
	150	4.5k	DＳ- 150-　3Ｚ1	DＳ- 150-　3Ｚ2	450	600	860	170	図-3
	200	6.0k	DＳ- 200-　3Ｚ1	DＳ- 200-　3Ｚ2	450	600	860	200	図-3
50V (10～60V)	10	600	DＳ- 　10-　5Ｚ1	DＳ- 　10-　5Ｚ2	420	400	199	35	図-2
	15	900	DＳ- 　15-　5Ｚ1	DＳ- 　15-　5Ｚ2	420	500	249	42	図-2
	25	1.5k	DＳ- 　25-　5Ｚ1	DＳ- 　25-　5Ｚ2	420	500	349	60	図-2
	38	2.3k	DＳ- 　38-　5Ｚ1	DＳ- 　38-　5Ｚ2	350	450	670	105	図-3
	50	3.0k	DＳ- 　50-　5Ｚ1	DＳ- 　50-　5Ｚ2	400	550	770	130	図-3
	75	4.5k	DＳ- 　75-　5Ｚ1	DＳ- 　75-　5Ｚ2	450	600	860	150	図-3
	100	6.0k	DＳ- 100-　5Ｚ1	DＳ- 100-　5Ｚ2	450	600	860	210	図-3
	150	9.0k	DＳ- 150-　5Ｚ1	DＳ- 150-　5Ｚ2	510	690	1000	270	図-3
	200	12k	DＳ- 200-　5Ｚ1	DＳ- 200-　5Ｚ2	510	690	1000	300	図-3
100V (20～120V)	5	600	DＳ- 　 5-10Ｚ1	DＳ- 　 5-10Ｚ2	420	400	199	35	図-2
	10	1.2k	DＳ- 　10-10Ｚ1	DＳ- 　10-10Ｚ2	420	500	249	50	図-2
	15	1.8k	DＳ- 　15-10Ｚ1	DＳ- 　15-10Ｚ2	420	500	349	65	図-2
	25	3.0k	DＳ- 　25-10Ｚ1	DＳ- 　25-10Ｚ2	400	550	770	120	図-3
	38	4.5k	DＳ- 　38-10Ｚ1	DＳ- 　38-10Ｚ2	400	550	770	140	図-3
	50	6.0k	DＳ- 　50-10Ｚ1	DＳ- 　50-10Ｚ2	450	600	860	190	図-3
	75	9.5k	DＳ- 　75-10Ｚ1	DＳ- 　75-10Ｚ2	510	690	1000	260	図-3
	100	12k	DＳ- 100-10Ｚ1	DＳ- 100-10Ｚ2	510	690	1000	290	図-3
200V (40～240V)	5	1.2k	DＳ- 　 5-20Ｚ1	DＳ- 　 5-20Ｚ2	420	500	249	47	図-2
	10	2.4k	DＳ- 　10-20Ｚ1	DＳ- 　10-20Ｚ2	420	500	349	84	図-2
	15	3.6k	DＳ- 　15-20Ｚ1	DＳ- 　15-20Ｚ2	400	550	770	140	図-3
	25	6.0k	DＳ- 　25-20Ｚ1	DＳ- 　25-20Ｚ2	450	600	860	185	図-3
	38	9.1k	DＳ- 　38-20Ｚ1	DＳ- 　38-20Ｚ2	510	690	1000	260	図-3
	50	12k	DＳ- 　50-20Ｚ1	DＳ- 　50-20Ｚ2	510	690	1000	290	図-3

ＤＳ3シリーズ　　　　　三相入力製品一覧

定格電圧	定格電流	最大容量	型　　　　　　　　式		幅Ｗ	奥行D	高さH	重量	外形図
（可変範囲）	（Ａ）	（W）	3φ入力AC200V	3φ入力AC440V	(mm)	(mm)	(mm)	(kg)	番号
12V (2～15V)	75	1.1k	DＳ3- 　75-　1Ｚ	―	420	500	349	65	図-2
	100	1.5k	DＳ3- 100-　1Ｚ	―	400	550	770	110	図-3
	150	2.2k	DＳ3- 150-　1Ｚ	―	400	550	770	130	図-3
	200	3.0k	DＳ3- 200-　1Ｚ	―	400	550	770	160	図-3
	300	4.5k	DＳ3- 300-　1Ｚ	―	510	690	1000	230	図-3
	400	6.0k	DＳ3- 400-　1Ｚ	―	510	690	1000	290	図-3
	500	7.5k	DＳ3- 500-　1Ｚ	―	510	690	1000	330	図-3
25V (5～30V)	38	1.1k	DＳ3- 　38-　3Ｚ	DＳ3- 　38-　3Ｚ4	420	500	349	65	図-2
	50	1.5k	DＳ3- 　50-　3Ｚ	DＳ3- 　50-　3Ｚ4	420	500	349	75	図-2
	75	2.2k	DＳ3- 　75-　3Ｚ	DＳ3- 　75-　3Ｚ4	400	550	770	120	図-3
	100	3.0k	DＳ3- 100-　3Ｚ	DＳ3- 100-　3Ｚ4	400	550	770	140	図-3
	150	4.5k	DＳ3- 150-　3Ｚ	DＳ3- 150-　3Ｚ4	450	600	860	180	図-3
	200	6.0k	DＳ3- 200-　3Ｚ	DＳ3- 200-　3Ｚ4	450	600	860	280	図-3
	300	9.0k	DＳ3- 300-　3Ｚ	DＳ3- 300-　3Ｚ4	510	690	1000	330	図-3
	400	12k	DＳ3- 400-　3Ｚ	DＳ3- 400-　3Ｚ4	580	780	1150	370	図-3
	500	15k	DＳ3- 500-　3Ｚ	DＳ3- 500-　3Ｚ4	650	850	1300	480	図-3
	750	22k	DＳ3- 750-　3Ｚ	DＳ3- 750-　3Ｚ4	750	1000	1550	680	図-4
	1000	30k	DＳ3-1000-　3Ｚ	DＳ3-1000-　3Ｚ4	750	1000	1550	820	図-4
50V (10～60V)	25	1.5k	DＳ3- 　25-　5Ｚ	DＳ3- 　25-　5Ｚ4	420	500	349	75	図-2
	38	2.3k	DＳ3- 　38-　5Ｚ	DＳ3- 　38-　5Ｚ4	400	550	770	110	図-3
	50	3.0k	DＳ3- 　50-　5Ｚ	DＳ3- 　50-　5Ｚ4	400	550	770	130	図-3
	75	4.5k	DＳ3- 　75-　5Ｚ	DＳ3- 　75-　5Ｚ4	450	600	860	160	図-3
	100	6.0k	DＳ3- 100-　5Ｚ	DＳ3- 100-　5Ｚ4	450	600	860	190	図-3
	150	9.0k	DＳ3- 150-　5Ｚ	DＳ3- 150-　5Ｚ4	510	690	1000	230	図-3
	200	12k	DＳ3- 200-　5Ｚ	DＳ3- 200-　5Ｚ4	510	690	1000	260	図-3
	300	15k	DＳ3- 300-　5Ｚ	DＳ3- 300-　5Ｚ4	580	780	1150	350	図-3
	400	22k	DＳ3- 400-　5Ｚ	DＳ3- 400-　5Ｚ4	650	850	1300	520	図-3
	500	30k	DＳ3- 500-　5Ｚ	DＳ3- 500-　5Ｚ4	750	1000	1550	650	図-4
100V (20～120V)	15	1.8k	DＳ3- 　15-10Ｚ	DＳ3- 　15-10Ｚ4	420	500	349	68	図-2
	25	3.0k	DＳ3- 　25-10Ｚ	DＳ3- 　25-10Ｚ4	400	550	770	120	図-3
	38	4.5k	DＳ3- 　38-10Ｚ	DＳ3- 　38-10Ｚ4	400	550	770	150	図-3
	50	6.0k	DＳ3- 　50-10Ｚ	DＳ3- 　50-10Ｚ4	450	600	860	170	図-3
	75	9.0k	DＳ3- 　75-10Ｚ	DＳ3- 　75-10Ｚ4	450	600	860	200	図-3
	100	12k	DＳ3- 100-10Ｚ	DＳ3- 100-10Ｚ4	510	690	1000	270	図-3
	150	18k	DＳ3- 150-10Ｚ	DＳ3- 150-10Ｚ4	510	690	1000	350	図-3
	200	24k	DＳ3- 200-10Ｚ	DＳ3- 200-10Ｚ4	580	780	1150	450	図-3
	300	36k	DＳ3- 300-10Ｚ	DＳ3- 300-10Ｚ4	650	850	1300	650	図-3
200V (40～240V)	10	2.4k	DＳ3- 　10-20Ｚ	DＳ3- 　10-20Ｚ4	400	550	770	130	図-3
	15	3.6k	DＳ3- 　15-20Ｚ	DＳ3- 　15-20Ｚ4	400	550	770	150	図-3
	25	6.0k	DＳ3- 　25-20Ｚ	DＳ3- 　25-20Ｚ4	450	600	860	170	図-3
	38	9.1k	DＳ3- 　38-20Ｚ	DＳ3- 　38-20Ｚ4	450	600	860	200	図-3
	50	12k	DＳ3- 　50-20Ｚ	DＳ3- 　50-20Ｚ4	510	690	1000	280	図-3
	75	18k	DＳ3- 　75-20Ｚ	DＳ3- 　75-20Ｚ4	510	690	1000	310	図-3
	100	24k	DＳ3- 100-20Ｚ	DＳ3- 100-20Ｚ4	580	780	1150	460	図-3
	150	36k	DＳ3- 150-20Ｚ	DＳ3- 150-20Ｚ4	650	850	1300	600	図-3