ウエハー表裏面のアライメントマークの自動検査システム
◆指定したワークの測定箇所に自動で移動し、水晶振動子、MEMS、半導体ウェハ、電子部品の表裏パターンやアライメントマークのずれを自動測定できます。 ◆XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能、測定対象を映像中心位置に移動制御するセンタリング機能を搭載。正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。
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◆指定したワークの測定箇所に自動で移動し、水晶振動子、MEMS、半導体ウェハ、電子部品の表裏パターンやアライメントマークのずれを自動測定できます。 ◆XYステージとワークの装着位置のずれ補正アライメント機能、測定対象を映像中心位置に移動制御するセンタリング機能を搭載。正確に移動制御し測定エラーを防ぎます。