G200Xハイエンド薄膜機械的特性評価装置は、薄膜の機械特性評価に欠かせない、ダイナミックモードやスクラッチ試験、高速３D／４Dマッピング機能まで幅広い機能を装備可能な最新のナノインデンターです。
・ISO14577に準拠した国際規格の硬度測定法を使用 ・薄膜の硬度を自動測定！ ロックウェルと同様に圧痕観察は不要 ・マイクロビッカースでは不可能な数mNレベルの押込み試験が可能 (膜厚の5～10分の1の押込み深さで硬度測定が可能） ・薄膜のヤング率も測定可能 ・オートX-Y ステージを用いた多点自動測定 ・高精度ステージを用いたAFM/SPMオプション
