非接触の光学系で、分光反射率から薄膜の膜厚を測定します。
光を透明または半透明膜に照射し、その光のスペクトル情報から膜厚を算出するので、サンプルを傷付けず、再現性良く測定する方法として注目されています。 光ファイバーでサンプルを照射するので、場所を選ばず、インライン使用も可能になりました。 アクチュエータとの併用で、簡単なマッピング膜厚測定も実現します。
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光を透明または半透明膜に照射し、その光のスペクトル情報から膜厚を算出するので、サンプルを傷付けず、再現性良く測定する方法として注目されています。 光ファイバーでサンプルを照射するので、場所を選ばず、インライン使用も可能になりました。 アクチュエータとの併用で、簡単なマッピング膜厚測定も実現します。