開発環境

有限会社シスコム 3D MEMS用振動・変位解析装置 (MEMSMap 510)

水晶振動子、圧電素子等の面外及び面内振動を1nmレベルから検出可能。高周波数240MHzまで対応。位相情報も含めてリアルタイムで確認も可能。

MEMSMap510は微小測定物(0.1mm以上)の振動変位解析をCCDカメラと顕微鏡レンズを用いて行います。 測定物にレーザーを照射し、測定物より反射されたレーザーと内部レファレンスレーザーとの間で干渉縞が作成され、その干渉縞を高精度の顕微鏡レンズとCCDカメラで画像処理ボードを通して、デジタルデータとしてPCに取り込みます。

製品名
3D MEMS用振動・変位解析装置
型番
MEMSMap 510
価格
オープン価格
発売日
発売中
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3D MEMS用振動・変位解析装置の特長

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