炭化珪素ウェハの信頼性・バーンイン試験において、ウェハレベルで優れた性能を発揮する全自動バーンインテストハンドラー
カセットからチャックまでのウェーハハンドリングを自動化する高精度アクティブアライメントガントリーシステムにより、4枚のウェーハを同時にバーンインすることが可能です。
ウェーブクレスト株式会社 バーンイン＆テストハンドラー (Trooper-BI4)
バーンイン＆テストハンドラーの特長
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