ステージ業界を覆すニュースタンダード！ 世界最高峰の高精度ステージ
各種ステージにナノメーター精度が要求される今、アリオは2001年より6-Dナノプレシジョンと言う定義を定め、製造する全ての製品にこれを適用することで急成長しました。 ハイブリッドヘキサポッドは新しい移動方法で従来のステージをいくつも重ねるイメージをくつがえし、高精度、高速で任意の位置への複雑な動きを単純移動で可能にしています。
オーテックス株式会社 高精度(ナノ精度)位置決め自動ステージ (ALIO)
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