表裏(両面)の位置ずれ/寸法/計測 両面測定顕微鏡。 高精度、低価格化を実現。
水晶振動子、MEMS、インクジェットノズル、半導体電子部品などの検査に! 表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能! 表裏光軸補正はマイクロステージ+ソフトウェアで高精度に補正! ±0.2μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定!(条件により異なる) 装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能!
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水晶振動子、MEMS、インクジェットノズル、半導体電子部品などの検査に! 表裏両面を同時撮影、寸法計測、位置ずれ計測が可能! 表裏光軸補正はマイクロステージ+ソフトウェアで高精度に補正! ±0.2μm以下の繰り返し精度で表裏の位置ずれを測定!(条件により異なる) 装置組込用両面顕微鏡モジュールとしての販売も可能!