より正確なナノ3D計測
広域フラットスキャナを搭載し、メカニカル起因の測定誤差を排除した走査型プローブ顕微鏡システムAFM5500Mなら、ナノメートルレベルの凹凸構造やうねりを高精度に測定できます。カンチレバーの装着・交換、光軸調整の自動化により、オペレーターの負担を軽減し、SEM、各観察装置との座標リンケージを実現しました。
株式会社 日立ハイテク 中型プローブ顕微鏡システム（SPM） (AFM5500M)
中型プローブ顕微鏡システム（SPM）の特長
ＤＳ，ＤＳ3シリーズ 仕 様
入 力 1φ又は3φ 48～62Hz 100V､200V､440V 効 率 約70％以上 入力電圧範囲 定格電圧±10％ 負 荷 条 件 0～100％(電流) 出力電源精度 定格電圧± 1％ 絶 縁 抵 抗 DC500Ｖﾒｶ測定10MΩ 電圧可変範囲 20～120％ 絶 縁 耐 力 AC1500Ｖ １分間 ﾘ ｯ ﾌ ﾟ ﾙ電 圧 2％（rms) 使 用 温 度 -10～40℃ 応 答 時 間 0.3秒以内(50％以上負荷時) 相 対 湿 度 30～85％RH 過 負 荷 保 護 定格電流の約105％にて垂下 塗 装 色 ﾏﾝｾﾙ5Y7/1 出力過電圧保護 定格電圧の約130％にて(入力ﾌﾞﾚｰｶﾄﾘｯﾌﾟ)
ＤＳ，ＤＳ3シリーズ
ＤＳシリーズ 単相入力製品一覧 定格電圧 定格電流 最大容量 型 式 幅Ｗ 奥行D 高さH 重量 外形図 （可変範囲） （Ａ） （W） 1φ入力AC100V 1φ入力AC200V (mm) (mm) (mm) (kg) 番号 12V
(2～15V) 25 375 DＳ- 25- 1Ｚ1 DＳ- 25- 1Ｚ2 420 400 199 35 図-2 38 570 DＳ- 38- 1Ｚ1 DＳ- 38- 1Ｚ2 420 500 249 40 図-2 50 750 DＳ- 50- 1Ｚ1 DＳ- 50- 1Ｚ2 420 500 349 55 図-2 75 1.1k DＳ- 75- 1Ｚ1 DＳ- 75- 1Ｚ2 350 450 670 90 図-3 100 1.5k DＳ- 100- 1Ｚ1 DＳ- 100- 1Ｚ2 400 550 770 110 図-3 150 2.2k DＳ- 150- 1Ｚ1 DＳ- 150- 1Ｚ2 400 550 770 130 図-3 200 3.0k DＳ- 200- 1Ｚ1 DＳ- 200- 1Ｚ2 400 550 770 140 図-3 25V
(5～30V) 10 375 DＳ- 10- 3Ｚ1 DＳ- 10- 3Ｚ2 420 400 199 25 図-2 15 450 DＳ- 15- 3Ｚ1 DＳ- 15- 3Ｚ2 420 400 199 35 図-2 25 750 DＳ- 25- 3Ｚ1 DＳ- 25- 3Ｚ2 420 500 249 38 図-2 38 1.1k DＳ- 38- 3Ｚ1 DＳ- 38- 3Ｚ2 420 500 349 63 図-2 50 1.5k DＳ- 50- 3Ｚ1 DＳ- 50- 3Ｚ2 350 450 670 80 図-3 75 2.2k DＳ- 75- 3Ｚ1 DＳ- 75- 3Ｚ2 400 550 770 120 図-3 100 3.0k DＳ- 100- 3Ｚ1 DＳ- 100- 3Ｚ2 400 550 770 130 図-3 150 4.5k DＳ- 150- 3Ｚ1 DＳ- 150- 3Ｚ2 450 600 860 170 図-3 200 6.0k DＳ- 200- 3Ｚ1 DＳ- 200- 3Ｚ2 450 600 860 200 図-3 50V
(10～60V) 10 600 DＳ- 10- 5Ｚ1 DＳ- 10- 5Ｚ2 420 400 199 35 図-2 15 900 DＳ- 15- 5Ｚ1 DＳ- 15- 5Ｚ2 420 500 249 42 図-2 25 1.5k DＳ- 25- 5Ｚ1 DＳ- 25- 5Ｚ2 420 500 349 60 図-2 38 2.3k DＳ- 38- 5Ｚ1 DＳ- 38- 5Ｚ2 350 450 670 105 図-3 50 3.0k DＳ- 50- 5Ｚ1 DＳ- 50- 5Ｚ2 400 550 770 130 図-3 75 4.5k DＳ- 75- 5Ｚ1 DＳ- 75- 5Ｚ2 450 600 860 150 図-3 100 6.0k DＳ- 100- 5Ｚ1 DＳ- 100- 5Ｚ2 450 600 860 210 図-3 150 9.0k DＳ- 150- 5Ｚ1 DＳ- 150- 5Ｚ2 510 690 1000 270 図-3 200 12k DＳ- 200- 5Ｚ1 DＳ- 200- 5Ｚ2 510 690 1000 300 図-3 100V
(20～120V) 5 600 DＳ- 5-10Ｚ1 DＳ- 5-10Ｚ2 420 400 199 35 図-2 10 1.2k DＳ- 10-10Ｚ1 DＳ- 10-10Ｚ2 420 500 249 50 図-2 15 1.8k DＳ- 15-10Ｚ1 DＳ- 15-10Ｚ2 420 500 349 65 図-2 25 3.0k DＳ- 25-10Ｚ1 DＳ- 25-10Ｚ2 400 550 770 120 図-3 38 4.5k DＳ- 38-10Ｚ1 DＳ- 38-10Ｚ2 400 550 770 140 図-3 50 6.0k DＳ- 50-10Ｚ1 DＳ- 50-10Ｚ2 450 600 860 190 図-3 75 9.5k DＳ- 75-10Ｚ1 DＳ- 75-10Ｚ2 510 690 1000 260 図-3 100 12k DＳ- 100-10Ｚ1 DＳ- 100-10Ｚ2 510 690 1000 290 図-3 200V
(40～240V) 5 1.2k DＳ- 5-20Ｚ1 DＳ- 5-20Ｚ2 420 500 249 47 図-2 10 2.4k DＳ- 10-20Ｚ1 DＳ- 10-20Ｚ2 420 500 349 84 図-2 15 3.6k DＳ- 15-20Ｚ1 DＳ- 15-20Ｚ2 400 550 770 140 図-3 25 6.0k DＳ- 25-20Ｚ1 DＳ- 25-20Ｚ2 450 600 860 185 図-3 38 9.1k DＳ- 38-20Ｚ1 DＳ- 38-20Ｚ2 510 690 1000 260 図-3 50 12k DＳ- 50-20Ｚ1 DＳ- 50-20Ｚ2 510 690 1000 290 図-3
ＤＳ3シリーズ 三相入力製品一覧
定格電圧 定格電流 最大容量 型 式 幅Ｗ 奥行D 高さH 重量 外形図 （可変範囲） （Ａ） （W） 3φ入力AC200V 3φ入力AC440V (mm) (mm) (mm) (kg) 番号 12V
(2～15V) 75 1.1k DＳ3- 75- 1Ｚ ― 420 500 349 65 図-2 100 1.5k DＳ3- 100- 1Ｚ ― 400 550 770 110 図-3 150 2.2k DＳ3- 150- 1Ｚ ― 400 550 770 130 図-3 200 3.0k DＳ3- 200- 1Ｚ ― 400 550 770 160 図-3 300 4.5k DＳ3- 300- 1Ｚ ― 510 690 1000 230 図-3 400 6.0k DＳ3- 400- 1Ｚ ― 510 690 1000 290 図-3 500 7.5k DＳ3- 500- 1Ｚ ― 510 690 1000 330 図-3 25V
(5～30V) 38 1.1k DＳ3- 38- 3Ｚ DＳ3- 38- 3Ｚ4 420 500 349 65 図-2 50 1.5k DＳ3- 50- 3Ｚ DＳ3- 50- 3Ｚ4 420 500 349 75 図-2 75 2.2k DＳ3- 75- 3Ｚ DＳ3- 75- 3Ｚ4 400 550 770 120 図-3 100 3.0k DＳ3- 100- 3Ｚ DＳ3- 100- 3Ｚ4 400 550 770 140 図-3 150 4.5k DＳ3- 150- 3Ｚ DＳ3- 150- 3Ｚ4 450 600 860 180 図-3 200 6.0k DＳ3- 200- 3Ｚ DＳ3- 200- 3Ｚ4 450 600 860 280 図-3 300 9.0k DＳ3- 300- 3Ｚ DＳ3- 300- 3Ｚ4 510 690 1000 330 図-3 400 12k DＳ3- 400- 3Ｚ DＳ3- 400- 3Ｚ4 580 780 1150 370 図-3 500 15k DＳ3- 500- 3Ｚ DＳ3- 500- 3Ｚ4 650 850 1300 480 図-3 750 22k DＳ3- 750- 3Ｚ DＳ3- 750- 3Ｚ4 750 1000 1550 680 図-4 1000 30k DＳ3-1000- 3Ｚ DＳ3-1000- 3Ｚ4 750 1000 1550 820 図-4 50V
(10～60V) 25 1.5k DＳ3- 25- 5Ｚ DＳ3- 25- 5Ｚ4 420 500 349 75 図-2 38 2.3k DＳ3- 38- 5Ｚ DＳ3- 38- 5Ｚ4 400 550 770 110 図-3 50 3.0k DＳ3- 50- 5Ｚ DＳ3- 50- 5Ｚ4 400 550 770 130 図-3 75 4.5k DＳ3- 75- 5Ｚ DＳ3- 75- 5Ｚ4 450 600 860 160 図-3 100 6.0k DＳ3- 100- 5Ｚ DＳ3- 100- 5Ｚ4 450 600 860 190 図-3 150 9.0k DＳ3- 150- 5Ｚ DＳ3- 150- 5Ｚ4 510 690 1000 230 図-3 200 12k DＳ3- 200- 5Ｚ DＳ3- 200- 5Ｚ4 510 690 1000 260 図-3 300 15k DＳ3- 300- 5Ｚ DＳ3- 300- 5Ｚ4 580 780 1150 350 図-3 400 22k DＳ3- 400- 5Ｚ DＳ3- 400- 5Ｚ4 650 850 1300 520 図-3 500 30k DＳ3- 500- 5Ｚ DＳ3- 500- 5Ｚ4 750 1000 1550 650 図-4 100V
(20～120V) 15 1.8k DＳ3- 15-10Ｚ DＳ3- 15-10Ｚ4 420 500 349 68 図-2 25 3.0k DＳ3- 25-10Ｚ DＳ3- 25-10Ｚ4 400 550 770 120 図-3 38 4.5k DＳ3- 38-10Ｚ DＳ3- 38-10Ｚ4 400 550 770 150 図-3 50 6.0k DＳ3- 50-10Ｚ DＳ3- 50-10Ｚ4 450 600 860 170 図-3 75 9.0k DＳ3- 75-10Ｚ DＳ3- 75-10Ｚ4 450 600 860 200 図-3 100 12k DＳ3- 100-10Ｚ DＳ3- 100-10Ｚ4 510 690 1000 270 図-3 150 18k DＳ3- 150-10Ｚ DＳ3- 150-10Ｚ4 510 690 1000 350 図-3 200 24k DＳ3- 200-10Ｚ DＳ3- 200-10Ｚ4 580 780 1150 450 図-3 300 36k DＳ3- 300-10Ｚ DＳ3- 300-10Ｚ4 650 850 1300 650 図-3 200V
(40～240V) 10 2.4k DＳ3- 10-20Ｚ DＳ3- 10-20Ｚ4 400 550 770 130 図-3 15 3.6k DＳ3- 15-20Ｚ DＳ3- 15-20Ｚ4 400 550 770 150 図-3 25 6.0k DＳ3- 25-20Ｚ DＳ3- 25-20Ｚ4 450 600 860 170 図-3 38 9.1k DＳ3- 38-20Ｚ DＳ3- 38-20Ｚ4 450 600 860 200 図-3 50 12k DＳ3- 50-20Ｚ DＳ3- 50-20Ｚ4 510 690 1000 280 図-3 75 18k DＳ3- 75-20Ｚ DＳ3- 75-20Ｚ4 510 690 1000 310 図-3 100 24k DＳ3- 100-20Ｚ DＳ3- 100-20Ｚ4 580 780 1150 460 図-3 150 36k DＳ3- 150-20Ｚ DＳ3- 150-20Ｚ4 650 850 1300 600 図-3
ＤＳ，ＤＳ3シリーズ 外形図 （ 図－２ ）
ＤＳ，ＤＳ3シリーズ 外形図 （ 図－３ ）
ＤＳ，ＤＳ3シリーズ 外形図 （ 図－４ ）
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