開発環境

株式会社 日立ハイテク 中型プローブ顕微鏡システム(SPM) (AFM5500M)

より正確なナノ3D計測

広域フラットスキャナを搭載し、メカニカル起因の測定誤差を排除した走査型プローブ顕微鏡システムAFM5500Mなら、ナノメートルレベルの凹凸構造やうねりを高精度に測定できます。カンチレバーの装着・交換、光軸調整の自動化により、オペレーターの負担を軽減し、SEM、各観察装置との座標リンケージを実現しました。

製品名
中型プローブ顕微鏡システム(SPM)
型番
AFM5500M
価格
24,800,000円~(プローブステーション込み)
発売日
発売中
  • 中型プローブ顕微鏡システム(SPM)
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中型プローブ顕微鏡システム(SPM)の特長


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