ナノ３D光干渉計測システム

光の干渉現象を利用して微細な表面形状測定を行い、高機能フィルムや半導体、自動車部品、ディスプレイ業界において求められている高精度な計測を実現します。

光の干渉現象を利用し、高精度かつ広範囲な表面形状計測を高速に行うことができます。従来の線粗さ測定では、測定箇所や走査方向に依存するバラつきが課題でした。その対応として定められたISO25178のパラメータ算出法を採用したVS1800は、表面形状の新たなスタンダードです。高さ分解能0.1nm以下で、AFMに比べ広い面に対し測定可能です。

製品名: ナノ３D光干渉計測システム

型番: VS1800

価格: 15,600,000円～

発売日: 2018年10月より発売中

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ナノ３D光干渉計測システムの特長

ＤＳ，ＤＳ3シリーズ　　　　仕　　　　様　　　

入　　　　　　力	1φ又は3φ 48～62Hz 100V､200V､440V	効　　　　　率	約70％以上
入力電圧範囲	定格電圧±10％	負　荷　条　件	0～100％(電流)
出力電源精度	定格電圧± 1％	絶　縁　抵　抗	DC500Ｖﾒｶ測定10MΩ
電圧可変範囲	20～120％	絶　縁　耐　力	AC1500Ｖ　１分間
ﾘｯﾌﾟﾙ電圧	2％（rms)	使　用　温　度	-10～40℃
応　答　時　間	0.3秒以内(50％以上負荷時)	相　対　湿　度	30～85％RH
過負荷保護	定格電流の約105％にて垂下	塗　　装　　色	ﾏﾝｾﾙ5Y7/1
出力過電圧保護	定格電圧の約130％にて(入力ﾌﾞﾚｰｶﾄﾘｯﾌﾟ)

ＤＳ，ＤＳ3シリーズ　　

ＤＳシリーズ　　　　　単相入力製品一覧

定格電圧	定格電流	最大容量	型　　　　　　　　式		幅Ｗ	奥行D	高さH	重量	外形図
（可変範囲）	（Ａ）	（W）	1φ入力AC100V	1φ入力AC200V	(mm)	(mm)	(mm)	(kg)	番号
12V (2～15V)	25	375	DＳ- 　25-　1Ｚ1	DＳ- 　25-　1Ｚ2	420	400	199	35	図-2
	38	570	DＳ- 　38-　1Ｚ1	DＳ- 　38-　1Ｚ2	420	500	249	40	図-2
	50	750	DＳ- 　50-　1Ｚ1	DＳ- 　50-　1Ｚ2	420	500	349	55	図-2
	75	1.1k	DＳ- 　75-　1Ｚ1	DＳ- 　75-　1Ｚ2	350	450	670	90	図-3
	100	1.5k	DＳ- 100-　1Ｚ1	DＳ- 100-　1Ｚ2	400	550	770	110	図-3
	150	2.2k	DＳ- 150-　1Ｚ1	DＳ- 150-　1Ｚ2	400	550	770	130	図-3
	200	3.0k	DＳ- 200-　1Ｚ1	DＳ- 200-　1Ｚ2	400	550	770	140	図-3
25V (5～30V)	10	375	DＳ- 　10-　3Ｚ1	DＳ- 　10-　3Ｚ2	420	400	199	25	図-2
	15	450	DＳ- 　15-　3Ｚ1	DＳ- 　15-　3Ｚ2	420	400	199	35	図-2
	25	750	DＳ- 　25-　3Ｚ1	DＳ- 　25-　3Ｚ2	420	500	249	38	図-2
	38	1.1k	DＳ- 　38-　3Ｚ1	DＳ- 　38-　3Ｚ2	420	500	349	63	図-2
	50	1.5k	DＳ- 　50-　3Ｚ1	DＳ- 　50-　3Ｚ2	350	450	670	80	図-3
	75	2.2k	DＳ- 　75-　3Ｚ1	DＳ- 　75-　3Ｚ2	400	550	770	120	図-3
	100	3.0k	DＳ- 100-　3Ｚ1	DＳ- 100-　3Ｚ2	400	550	770	130	図-3
	150	4.5k	DＳ- 150-　3Ｚ1	DＳ- 150-　3Ｚ2	450	600	860	170	図-3
	200	6.0k	DＳ- 200-　3Ｚ1	DＳ- 200-　3Ｚ2	450	600	860	200	図-3
50V (10～60V)	10	600	DＳ- 　10-　5Ｚ1	DＳ- 　10-　5Ｚ2	420	400	199	35	図-2
	15	900	DＳ- 　15-　5Ｚ1	DＳ- 　15-　5Ｚ2	420	500	249	42	図-2
	25	1.5k	DＳ- 　25-　5Ｚ1	DＳ- 　25-　5Ｚ2	420	500	349	60	図-2
	38	2.3k	DＳ- 　38-　5Ｚ1	DＳ- 　38-　5Ｚ2	350	450	670	105	図-3
	50	3.0k	DＳ- 　50-　5Ｚ1	DＳ- 　50-　5Ｚ2	400	550	770	130	図-3
	75	4.5k	DＳ- 　75-　5Ｚ1	DＳ- 　75-　5Ｚ2	450	600	860	150	図-3
	100	6.0k	DＳ- 100-　5Ｚ1	DＳ- 100-　5Ｚ2	450	600	860	210	図-3
	150	9.0k	DＳ- 150-　5Ｚ1	DＳ- 150-　5Ｚ2	510	690	1000	270	図-3
	200	12k	DＳ- 200-　5Ｚ1	DＳ- 200-　5Ｚ2	510	690	1000	300	図-3
100V (20～120V)	5	600	DＳ- 　 5-10Ｚ1	DＳ- 　 5-10Ｚ2	420	400	199	35	図-2
	10	1.2k	DＳ- 　10-10Ｚ1	DＳ- 　10-10Ｚ2	420	500	249	50	図-2
	15	1.8k	DＳ- 　15-10Ｚ1	DＳ- 　15-10Ｚ2	420	500	349	65	図-2
	25	3.0k	DＳ- 　25-10Ｚ1	DＳ- 　25-10Ｚ2	400	550	770	120	図-3
	38	4.5k	DＳ- 　38-10Ｚ1	DＳ- 　38-10Ｚ2	400	550	770	140	図-3
	50	6.0k	DＳ- 　50-10Ｚ1	DＳ- 　50-10Ｚ2	450	600	860	190	図-3
	75	9.5k	DＳ- 　75-10Ｚ1	DＳ- 　75-10Ｚ2	510	690	1000	260	図-3
	100	12k	DＳ- 100-10Ｚ1	DＳ- 100-10Ｚ2	510	690	1000	290	図-3
200V (40～240V)	5	1.2k	DＳ- 　 5-20Ｚ1	DＳ- 　 5-20Ｚ2	420	500	249	47	図-2
	10	2.4k	DＳ- 　10-20Ｚ1	DＳ- 　10-20Ｚ2	420	500	349	84	図-2
	15	3.6k	DＳ- 　15-20Ｚ1	DＳ- 　15-20Ｚ2	400	550	770	140	図-3
	25	6.0k	DＳ- 　25-20Ｚ1	DＳ- 　25-20Ｚ2	450	600	860	185	図-3
	38	9.1k	DＳ- 　38-20Ｚ1	DＳ- 　38-20Ｚ2	510	690	1000	260	図-3
	50	12k	DＳ- 　50-20Ｚ1	DＳ- 　50-20Ｚ2	510	690	1000	290	図-3

ＤＳ3シリーズ　　　　　三相入力製品一覧

定格電圧	定格電流	最大容量	型　　　　　　　　式		幅Ｗ	奥行D	高さH	重量	外形図
（可変範囲）	（Ａ）	（W）	3φ入力AC200V	3φ入力AC440V	(mm)	(mm)	(mm)	(kg)	番号
12V (2～15V)	75	1.1k	DＳ3- 　75-　1Ｚ	―	420	500	349	65	図-2
	100	1.5k	DＳ3- 100-　1Ｚ	―	400	550	770	110	図-3
	150	2.2k	DＳ3- 150-　1Ｚ	―	400	550	770	130	図-3
	200	3.0k	DＳ3- 200-　1Ｚ	―	400	550	770	160	図-3
	300	4.5k	DＳ3- 300-　1Ｚ	―	510	690	1000	230	図-3
	400	6.0k	DＳ3- 400-　1Ｚ	―	510	690	1000	290	図-3
	500	7.5k	DＳ3- 500-　1Ｚ	―	510	690	1000	330	図-3
25V (5～30V)	38	1.1k	DＳ3- 　38-　3Ｚ	DＳ3- 　38-　3Ｚ4	420	500	349	65	図-2
	50	1.5k	DＳ3- 　50-　3Ｚ	DＳ3- 　50-　3Ｚ4	420	500	349	75	図-2
	75	2.2k	DＳ3- 　75-　3Ｚ	DＳ3- 　75-　3Ｚ4	400	550	770	120	図-3
	100	3.0k	DＳ3- 100-　3Ｚ	DＳ3- 100-　3Ｚ4	400	550	770	140	図-3
	150	4.5k	DＳ3- 150-　3Ｚ	DＳ3- 150-　3Ｚ4	450	600	860	180	図-3
	200	6.0k	DＳ3- 200-　3Ｚ	DＳ3- 200-　3Ｚ4	450	600	860	280	図-3
	300	9.0k	DＳ3- 300-　3Ｚ	DＳ3- 300-　3Ｚ4	510	690	1000	330	図-3
	400	12k	DＳ3- 400-　3Ｚ	DＳ3- 400-　3Ｚ4	580	780	1150	370	図-3
	500	15k	DＳ3- 500-　3Ｚ	DＳ3- 500-　3Ｚ4	650	850	1300	480	図-3
	750	22k	DＳ3- 750-　3Ｚ	DＳ3- 750-　3Ｚ4	750	1000	1550	680	図-4
	1000	30k	DＳ3-1000-　3Ｚ	DＳ3-1000-　3Ｚ4	750	1000	1550	820	図-4
50V (10～60V)	25	1.5k	DＳ3- 　25-　5Ｚ	DＳ3- 　25-　5Ｚ4	420	500	349	75	図-2
	38	2.3k	DＳ3- 　38-　5Ｚ	DＳ3- 　38-　5Ｚ4	400	550	770	110	図-3
	50	3.0k	DＳ3- 　50-　5Ｚ	DＳ3- 　50-　5Ｚ4	400	550	770	130	図-3
	75	4.5k	DＳ3- 　75-　5Ｚ	DＳ3- 　75-　5Ｚ4	450	600	860	160	図-3
	100	6.0k	DＳ3- 100-　5Ｚ	DＳ3- 100-　5Ｚ4	450	600	860	190	図-3
	150	9.0k	DＳ3- 150-　5Ｚ	DＳ3- 150-　5Ｚ4	510	690	1000	230	図-3
	200	12k	DＳ3- 200-　5Ｚ	DＳ3- 200-　5Ｚ4	510	690	1000	260	図-3
	300	15k	DＳ3- 300-　5Ｚ	DＳ3- 300-　5Ｚ4	580	780	1150	350	図-3
	400	22k	DＳ3- 400-　5Ｚ	DＳ3- 400-　5Ｚ4	650	850	1300	520	図-3
	500	30k	DＳ3- 500-　5Ｚ	DＳ3- 500-　5Ｚ4	750	1000	1550	650	図-4
100V (20～120V)	15	1.8k	DＳ3- 　15-10Ｚ	DＳ3- 　15-10Ｚ4	420	500	349	68	図-2
	25	3.0k	DＳ3- 　25-10Ｚ	DＳ3- 　25-10Ｚ4	400	550	770	120	図-3
	38	4.5k	DＳ3- 　38-10Ｚ	DＳ3- 　38-10Ｚ4	400	550	770	150	図-3
	50	6.0k	DＳ3- 　50-10Ｚ	DＳ3- 　50-10Ｚ4	450	600	860	170	図-3
	75	9.0k	DＳ3- 　75-10Ｚ	DＳ3- 　75-10Ｚ4	450	600	860	200	図-3
	100	12k	DＳ3- 100-10Ｚ	DＳ3- 100-10Ｚ4	510	690	1000	270	図-3
	150	18k	DＳ3- 150-10Ｚ	DＳ3- 150-10Ｚ4	510	690	1000	350	図-3
	200	24k	DＳ3- 200-10Ｚ	DＳ3- 200-10Ｚ4	580	780	1150	450	図-3
	300	36k	DＳ3- 300-10Ｚ	DＳ3- 300-10Ｚ4	650	850	1300	650	図-3
200V (40～240V)	10	2.4k	DＳ3- 　10-20Ｚ	DＳ3- 　10-20Ｚ4	400	550	770	130	図-3
	15	3.6k	DＳ3- 　15-20Ｚ	DＳ3- 　15-20Ｚ4	400	550	770	150	図-3
	25	6.0k	DＳ3- 　25-20Ｚ	DＳ3- 　25-20Ｚ4	450	600	860	170	図-3
	38	9.1k	DＳ3- 　38-20Ｚ	DＳ3- 　38-20Ｚ4	450	600	860	200	図-3
	50	12k	DＳ3- 　50-20Ｚ	DＳ3- 　50-20Ｚ4	510	690	1000	280	図-3
	75	18k	DＳ3- 　75-20Ｚ	DＳ3- 　75-20Ｚ4	510	690	1000	310	図-3
	100	24k	DＳ3- 100-20Ｚ	DＳ3- 100-20Ｚ4	580	780	1150	460	図-3
	150	36k	DＳ3- 150-20Ｚ	DＳ3- 150-20Ｚ4	650	850	1300	600	図-3