開発環境

株式会社 日立ハイテク ナノ３D光干渉計測システム (VS1330)

粗さ測定を線から面へ。高い垂直分解能で、広い面積について面粗さを測定できます。

「光干渉方式」の採用により、垂直方向の高い分解能と広い観察範囲を同時に実現しました。「非接触表面形状計測」の他、「層断面計測」も可能です。垂直分解能0.01nm、面内分解能350nm～。

製品名
ナノ３D光干渉計測システム
型番
VS1330
価格
10,500,000円～
発売日
2015年7月より発売中
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