自動位置決め機能により、焦点を自動的に合わせることができ、測定スループットが格段に向上しました。
X線を金属薄膜に当てると、試料を構成する元素に応じた蛍光X線が放出されます。各元素由来の蛍光X線の強度比から金属薄膜の膜厚を知ることができます。めっき膜の厚さ測定などに使われます。 (代理店:日本電計株式会社と共同出展)
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X線を金属薄膜に当てると、試料を構成する元素に応じた蛍光X線が放出されます。各元素由来の蛍光X線の強度比から金属薄膜の膜厚を知ることができます。めっき膜の厚さ測定などに使われます。 (代理店:日本電計株式会社と共同出展)